케이엔제이 272110 - 세계 두번째 반도체 CVD SiC 포커스링 양산 성공

 

 

 

 

 

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케이엔제이, 중국서 128억 규모 디스플레이 제조장비 공급계약 따내 (businesspost.co.kr)

케이엔제이, 중국서 128억 규모 디스플레이 제조장비 공급계약 따내

 

 

 

 

 

 

 

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케이엔제이는 반도체용 SiC 포커스링 및 디스플레이 장비 전문 제조 업체. 동사는 세계 에서 두번째로 반도체 CVD SiC 포커스링 양산에 성공하며 2016년 SK하이닉스, 2020 년 삼성전자에 양산 공급 중. SiC 포커스링은 반도체 식각공정에 사용되는 소모품으로 과거 사용되던 실리콘 포커스링 대비 수명이 50~100% 증가함에 따라 공정 수율이 올 라가는 효과가 있음. 적용 공정이 늘어남에 따라 SiC 포커스링 시장규모도 증가하는 중

-출처 : 기업리서치센터

 

 

 

 

 

사업 개요

2005년 회사 설립 이후 디스플레이 제조용 장비인 Edge Grinder(엣지그라인더)와 검사장비를 개발 생산해 왔으며, 2010년 신규사업으로 CVD-SiC(탄화규소) 제품군 분야에 진출한 후 LED제조용 SiC 코팅제품 및 반도체 웨이퍼 에칭공정용 소모품인 SiC Focus Ring 등을 생산/공급해 오고 있습니다.

 

Edge Grinder 및 검사장비는 디스플레이 제품 생산 공정 중 대형원장을 소규모 Panel단위로 절단(분리)하는 과정에서 절단면을 고르게 연마하고 검사하는 장비입니다.

주요 제품으로는 Panel Edge면을 가공하는 Edge Grinder, 스마트기기용 디스플레이기판 외형을 CNC기술로 정밀하게 가공하는 자유형상가공 CNC 설비, Edge 가공 전후의 상태를 검사하는 설비가 있습니다. 

 

CVD-SiC제품은 기존에 주로 사용되던 단결정 Si(실리콘, 규소)소재 기반의 반도체용부품을 대체하는 제품으로 Si 소재의 단점을 보완하기 위해 CVD (화학기상증착)방식으로 Si에 탄소(C)를 결합시켜 생산하게 됩니다. 최근 반도체 제조공정이 고출력플라즈마를 사용함에 따라 특수한 환경에 견딜 수 있는 소재가 주목 받고 있습니다.

 

 

 

 

 

 

 

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